大多數的感光膠(光阻、光刻膠)的光敏感範圍皆在450nm以下,故原則上無塵室的光線波長只要在500nm以上就算是安全,不會造成提早感光及誤曝的情況,則紅光、黃光、綠光、藍光皆可以被採用於無塵室的照明,但因其下列原因,故選擇"黃光"作為該無塵室的主要照明。
為何需要使用半導體專用燈管?
半導體廠用防紫外線黃光管(附被膜防止破裂飛散) 波長500nm以下的光被抑制不會發射,有效防止隔離紫外線,最適合使用在存放感光材料的處所。
適用區域
存放感光材料的處所 IC半導體電子廠、電漿夜晶面板廠、Natebook、PDA、數位相機攝影機、TFT、STN、OLED行動電話製造廠、研發實驗室、無塵室等場所。